上海计量技术创新成果荣获国家科技进步奖一等奖

      据悉，由上海市提名、同济大学牵头完成的《量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用》项目，荣获2025年度国家科学技术进步奖一等奖。这是上海计量科技领域获得的最高荣誉。

　　纳米计量是集成电路等先进纳米制造产业的“标尺”，是保障芯片制造可靠性的质量基础和关键共性技术。项目团队历经20余年攻关，发明了具有完全自主知识产权的量子化光晶格常数纳米计量新技术。项目共建立国家一级标准物质5项（含中国首个纳米尺度下的角度标准物质），参与研制我国首批高端仪器装备计量测评装置，为集成电路等纳米制造领域提供了校准和标定用的“精准标尺”。

　　据介绍，2024年1月，经市场监管总局批准，以同济大学为承建主体的“国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）”正式筹建，成为全国集成电路领域首批建设的3家国家产业计量测试中心之一。获批筹建后，上海市市场监管局支持该中心加快提升计量服务能力，加强产业专用计量测试技术、方法和设备的研究，为集成电路微纳检测设备企业提供“全产业链、全溯源链、全生命周期、有前瞻性”的计量测试服务；指导、审批该中心新建晶圆级国家二级标准物质3项，协调推动中心牵头制定国家和地方计量技术规范2项，组织“揭榜挂帅”等形式供需对接促进计量技术转化应用，持续健全产业计量测试服务体系。